*尺寸：
（W*D*H)1000x1400x1647mm
*重量：600kg

* 正常模式
510 x 460 mm 510 x 460 mm 400 x300 mm 510 x 460 mm

.元器件缺陷 缺件、立碑、側(cè)立、極反、旋轉(zhuǎn)、位移、錯件(OCV)、損件、反件、多件

.檢測速度
15 μm 120 cm2/sec
10 μm
60 cm2/sec