鍍膜設備在傳感器方面的應用

在傳感器中，多采用那些電氣性質(zhì)相對于物理量、化學量及其變化來說，極為敏感的半導體材料。此外，其中大多數(shù)利用的是半導體的表面、界面的性質(zhì)，需要盡量增大其面積，且能工業(yè)化、低價格制作、因此采用薄膜的情況很多。

鍍膜設備在集成電路制造中的應用

晶體管路中的保護層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是采用CVD技術、PVCD技術、真空蒸發(fā)金屬技術、磁控濺射技術和射頻濺射技術?？梢姎庀喑练e術制備集成電路的核心技術之一。

氦質(zhì)譜檢漏是以氦作探索氣體，對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想方法。

氦質(zhì)譜檢漏法有優(yōu)點在于：氦是惰性氣體，真空箱式氦檢漏公司，對大氣無污染，使用安全；氦原子質(zhì)量小，黏度小，易滲透過可能存在的漏隙。氦氣在大氣中含量?。?ppm），不易受干擾。氦質(zhì)譜檢漏儀檢測靈敏度高，速度快，適用范圍廣。

目前國內(nèi)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀較小可檢漏率可達到5.0×10-13 Pa·m3/s。目前，國內(nèi)外比較流行的針對空調(diào)兩器檢漏方法，多采用真空箱法。