氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)生產(chǎn)專用名詞，用氦氣或是氡氣作示漏氣體，以氣體檢測(cè)儀檢驗(yàn)氦氣而開(kāi)展檢漏的質(zhì)譜儀器。氦氣的本底噪音低，含量及黏滯指數(shù)小，因此易根據(jù)漏孔并易蔓延；此外，氦系可塑性氣體，不浸蝕機(jī)器設(shè)備，故常見(jiàn)氦作示漏氣體。將這類氣體噴入連有氣體檢測(cè)儀（調(diào)節(jié)到僅對(duì)氦氣反映的運(yùn)行狀態(tài)）的被檢器皿上，若器皿有漏孔，則檢測(cè)儀即有一定的反映，進(jìn)而得知漏孔所屬及漏汽量尺寸。

技術(shù)專業(yè)用以發(fā)電廠檢漏的氦質(zhì)譜檢漏儀。核心部件均為進(jìn)口，特性平穩(wěn)靠譜。不但敏感度高，并且實(shí)際操作便捷，可以雙鎢絲全自動(dòng)轉(zhuǎn)換、全自動(dòng)調(diào)零、全自動(dòng)校正和全自動(dòng)測(cè)量范圍轉(zhuǎn)換。

操作方法：

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)性是真空泵檢漏行業(yè)里不能缺乏的一種技術(shù)性，因?yàn)闄z漏率，簡(jiǎn)單易實(shí)際操作，儀器設(shè)備反映靈巧，高精度，不容易受別的氣體的影響，在電加熱爐檢漏中獲得了廣泛運(yùn)用。氦質(zhì)譜檢漏器是依據(jù)質(zhì)譜分析學(xué)基本原理，用氦氣作示漏氣體做成的氣密性檢測(cè)儀器設(shè)備。由離子源、解析器、回收器、冷陰極水解規(guī)構(gòu)成的質(zhì)譜分析室和抽真空系統(tǒng)軟件及電氣設(shè)備一部分等構(gòu)成。質(zhì)譜分析房?jī)?nèi)的鎢絲發(fā)送出去的電子器件，在房間內(nèi)往返地震蕩，并與房間內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)到房間內(nèi)的氦氣互相撞擊使其水解成正離子，這種氦正離子在加快靜電場(chǎng)功效下進(jìn)到電磁場(chǎng)，因?yàn)槁鍌惼澚πг斐善?，產(chǎn)生圓弧狀路軌，更改加快工作電壓可使不一樣品質(zhì)的正離子根據(jù)電磁場(chǎng)和接受縫抵達(dá)接受極而被檢驗(yàn)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電加熱爐檢漏中最常見(jiàn)的二種方式。