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氦質(zhì)譜檢漏儀的校準方法

氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術(shù)性能指標，通過實驗，總結(jié)通過氦質(zhì)譜檢漏儀對其漏率校準的方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀原理:

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不

氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標準漏孔，可將標準漏孔拆卸進行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進行漏率部分的校準，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的準確性

注意使用的環(huán)境。標準漏孔的生產(chǎn)、檢測，都是在20-25℃的室溫下進行。尤其有些標準漏孔，對溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標準漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達到30℃，這種標準漏孔的漏率誤差增加30%。在此種情況下，氦質(zhì)譜檢漏儀自檢通過了，但是漏率的誤差反而增加了30%；氦質(zhì)譜檢漏儀檢測的結(jié)果怎么能準確？

氦質(zhì)譜檢漏儀要想使用的好，準確度高，那就要正確使用標準漏孔。

氦質(zhì)譜檢漏的應(yīng)用

氦質(zhì)譜檢漏常用的操作方法

板式換熱器的體積及換熱面積較大，如果單依靠氦質(zhì)譜檢漏儀抽取真空，其不能滿足檢漏口真空度的要求，這樣需要另接抽真空機組。板翅式換熱器的氦質(zhì)譜檢漏一般采用噴吹法和鐘罩法，如檢查內(nèi)漏還可以采用吸入法進行檢漏。

噴吹法

該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統(tǒng)對其抽真空并達到真空銜接與質(zhì)譜管溝通，然后用噴槍向漏孔噴吹氦氣。當(dāng)有漏孔存在時，氦氣就通過漏孔進入質(zhì)譜管被檢測。