科創(chuàng)真空 進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀 氦質(zhì)譜檢漏儀維修
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科創(chuàng)真空-進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀-氦質(zhì)譜檢漏儀維修

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規(guī)格型號(hào) PHOENIX Quadro/TRIVAC D2.5E
真空模式最小可檢測(cè)的氦泄漏率 5x10-12mbar l/s
抽氦速度ULTRA >3.1 l/s
可檢測(cè)的氣體 4He、H2、質(zhì)量數(shù)3
吸槍模式最小可檢測(cè)的氦泄漏率 1x10-8mbar l/s
吸槍SL300的氣流量 20-25 sccm
測(cè)量范圍 12個(gè)數(shù)量級(jí)
啟動(dòng)時(shí)間 110 s
離子源 雙燈絲
產(chǎn)品編號(hào) 15133623
商品介紹
北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司主營(yíng):氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備




氦質(zhì)譜檢漏的成本控制

工件干濕度的控制

對(duì)一批同尺寸規(guī)格的4 臺(tái)的板翅式換熱器進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏時(shí),檢測(cè)各出工件通道的濕度,做了記錄,然后挑出2 臺(tái)進(jìn)行烘干和氮?dú)庵脫Q,然后對(duì)所有工件通道進(jìn)行抽真空。進(jìn)行對(duì)比后發(fā)現(xiàn),達(dá)到同樣的真空度,沒有進(jìn)行烘干和氮?dú)庵脫Q的工件其花費(fèi)的時(shí)間增加40%-60%。

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氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷故障

鎢錸絲具有高熔點(diǎn),高強(qiáng)度、高硬度、高塑性、高的再結(jié)晶溫度、高電阻率、低蒸汽壓、低電子逸出功和低的塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等優(yōu)點(diǎn)。但鎢錸絲制作的燈絲極易氧化,在真空、惰性氣體中可以保持很長(zhǎng)的使用壽命,但在氧化性氣氛中容易被碳化,降低其靈敏性并引發(fā)脆斷,在有氫氣存在的情況下,會(huì)加速碳化。

氦質(zhì)譜檢漏儀待機(jī)時(shí)電離室真空度保持在≤3x10-2Pa,燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中,當(dāng)出現(xiàn)意外情況,系統(tǒng)突然暴露大氣或真空度突然降低,導(dǎo)致大量的氣體突然進(jìn)入電離室,真空度≥1x10-1Pa時(shí),燈絲電流急劇增大,燈絲被碳化,就發(fā)生了脆斷現(xiàn)象。

氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲壽命如何延長(zhǎng)?有前面分析已知,造成氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷的原因:1.真空度低;2.燈絲電流過大;3.對(duì)燈絲有害的氣體氣壓太高(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。那么,在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長(zhǎng)時(shí)間開啟,或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長(zhǎng)氦質(zhì)譜檢漏儀的燈絲壽命。如:1.使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋;2.避免電離室泄入有害氣體(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。







檢漏儀的故障和處理

1 內(nèi)部的泄漏

當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí),會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn),更換密封件。

2 本底信號(hào)不穩(wěn)定

1)本底信號(hào)過高有可能是環(huán)境本底被污染,注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng),降低環(huán)境本底。

2)本底信號(hào)過高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí),質(zhì)譜室極易被污染,需返廠進(jìn)行清洗,本底信號(hào)不穩(wěn)定,檢查電源電壓是否穩(wěn)定,檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

3)本底信號(hào)不穩(wěn)定,檢查泵油是否渾濁,被污染。






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