上海伯東Pfeiffer-氦質譜檢漏儀-ASM-390
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葉南晶
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上海市浦東新區(qū)
上海伯東代理德國普發(fā) Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是針對大型檢漏部件設計研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內置2臺渦輪分子泵, 可以加速檢漏流程, 降低生產(chǎn)設備的停機時間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應時間使其成為同類型檢漏儀中的佼佼者!
氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強大的抽空能力
2. 極短的測試時間,
3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉和拆卸
4. 符合人體工學設計, 移動性強
5. 通過 CE 認證, ETL 認證, UL61010 合規(guī), 完全符合 Semi S2 標準
6. 可用于半導體相關行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求極高的應用
上海伯東 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術參數(shù)對比:
型號 | ASM 390 | ASM 392 | ASM 380 已停產(chǎn) |
檢測氣體 | 4He, 3He, H2 | ||
最小檢測漏率 | 真空模式: 1X10-12 mbar l/s | ||
對氦氣的抽速 | 10 l/s | 25 l/s, 內置2臺分子泵 | 7 l/s |
前級泵抽速 | 35 m3/h | ||
進氣口最大壓力 | 20 mbar | 20 mbar | 15 mbar |
無校準的啟動時間(20°C) | 2 min | 2 min | < 4.5 min |
進氣口 | DN 40 ISO-KF | ||
響應時間 | < 1 s | ||
Interface, 選配 | RS-232, I/O, Ethernet | ||
噪音 | ≤ 55 dB (A) | ≤ 55 dB (A) | 53 dB (A) |
重量 | 125 kg | 130 kg | 110 kg |
尺寸(LxWxH) | 1072 x 455 x 1025 mm | 1072 x 455 x 1025 mm | 1065 X 455 X 1025 mm |
移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390 應用案例
結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優(yōu)勢, 伯東 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用 >>
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