緊湊型過(guò)程監(jiān)控器Transpector CPM 3美國(guó)INFICON
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緊湊型過(guò)程監(jiān)控器Transpector-CPM-3美國(guó)INFICON

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產(chǎn)品名稱 緊湊型過(guò)程監(jiān)控器
品牌 INFICON
產(chǎn)地 美國(guó)
型號(hào) Transpector CPM 3
是否出口 是
是否定制 否
批號(hào) 參考詳情
封裝 參考詳情
加工定制 否
其他參數(shù) 參考詳情
商品介紹

產(chǎn)品名稱：INFICON緊湊型過(guò)程監(jiān)控器(Transpector CPM 3) 


品牌：美國(guó)INFICON


產(chǎn)地：美國(guó)


型號(hào)：Transpector CPM 3




快速、現(xiàn)場(chǎng)就緒過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
性能、可靠性和通用性

十多年來(lái)，INFICON Transpector CPM 一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)**的殘余氣體分析儀 (RGA) 過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)?，F(xiàn)在，Transpector CPM 3 通過(guò)集成經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的泵送和進(jìn)口系統(tǒng)與新型傳感器和電子元件，達(dá)到業(yè)內(nèi)**的測(cè)量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是新型和現(xiàn)有半導(dǎo)體過(guò)程（例如，ALD、CVD、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過(guò)程監(jiān)控器。

Transpector CPM 3 通過(guò)以下特性為合作伙伴提供經(jīng)實(shí)踐證實(shí)的投資回報(bào)率：

業(yè)內(nèi)**的測(cè)量技術(shù)
穩(wěn)健的適應(yīng)性架構(gòu)
易于維護(hù)
出色的產(chǎn)品支持




美國(guó)INFICON緊湊型過(guò)程監(jiān)控器(Transpector CPM 3) 功能

ALD、蝕刻、CVD 和 300 mm 除氣殘余氣體分析儀 — 實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)過(guò)程監(jiān)測(cè)和分析
ALD 就緒，測(cè)量速度為每點(diǎn) 1.8 ms（每秒 555 點(diǎn)）
在大多數(shù)苛刻 CVD 和蝕刻應(yīng)用中，展現(xiàn)出經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的耐久性和可靠性
應(yīng)用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件，由 INFICON **應(yīng)用專家提供支持，是一款強(qiáng)大的過(guò)程監(jiān)測(cè)與



診斷工具

緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
Hexblock? 含三個(gè)壓力進(jìn)口并減少表面積，以**小化表面反應(yīng)時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間
電容隔膜計(jì) (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測(cè)過(guò)程壓力，并自動(dòng)保護(hù)系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移
自動(dòng)校準(zhǔn) — 確保長(zhǎng)期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度，以便進(jìn)行各傳感器和工具的腔室匹配

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公司名稱 河北恒儀電子科技有限公司
聯(lián)系賣家 馬經(jīng)理 （QQ：2044339890）
電話 㜄㜆㜉㜇-㜌㜋㜃㜈㜉㜈㜊
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地址 河北省保定市
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