英國進口MICHELL密析爾PURA露點變送器
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英國密析爾Pura高純氣露點變送器
在很多超純氣應用,諸如半導體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的經驗,結合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的個適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的位變送器。
亮點
測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
測量穩(wěn)定,重復性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數字輸出
安裝簡便
VCR 過程接口
設計緊湊小巧
顯示/報警單元可選
傳感器 | |
傳感器類型 | 密析爾陶瓷濕度傳感器 |
量程 | -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C) |
精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
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分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
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壓力 | 低 10-9 torr; 24 MPa |
氣體流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
電氣 | |
電源 | 通常 24 V DC, 低10 V ~ 28 V , 電流 25 mA |
輸出 | 4-20 mA 輸出, 對應范圍可由專用軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供) 負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
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輸出出錯狀態(tài) | 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 |
機械性能 | |
傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內拋 |
氣路連接端口 | Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
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安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙 底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中
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尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm
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重量 | Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g
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包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨立包裝運輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作
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在氣體和液體中,測量露點、水分含量和微水含量一系列密析爾探頭。范圍從極干的環(huán)境下 (-120°Cdp) 到高濕度環(huán)境下測量,露點達到+60°C,我們的探頭可在多種領域中應用,進行可靠的測量。我們的本安型和隔爆/防火型傳感器適用于全球多種危險場合。
密析爾儀表在設計、制造,校驗濕度傳感器方面有超過40年的經驗,擁有一系列的技術。我們不斷投資研究項目,以便提高我們濕度傳感器的技術。其中包括一系列廣泛使用,經過現場驗證的露點傳感器。