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好的潔凈車間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運(yùn)行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)趨勢。

在設(shè)計(jì)和規(guī)劃凈化車間時(shí)，如何以小的投入實(shí)現(xiàn)大的效益，一直是凈化車間工程設(shè)計(jì)師非常看重的問題。凈化車間設(shè)計(jì)方案的優(yōu)化再優(yōu)化，更多的是考慮在潔凈工程成本核算的控制上，如何有效的控制潔凈工程的成本呢？凈化車間潔凈工程設(shè)計(jì)過程至關(guān)重要。潔凈室潔凈度的等級，凈化工程用料，空調(diào)系統(tǒng)，無塵室圍護(hù)結(jié)構(gòu)，地板工程都是影響凈化工程造價(jià)，潔凈室造價(jià)，凈化車間造價(jià)的主要因素。潔凈廠房凈化工程造價(jià)應(yīng)該重視源頭，加強(qiáng)凈化工程設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)的控制：

車間凈化在運(yùn)行中消耗的能量主要包括:新風(fēng)熱濕處理消耗的能量、系統(tǒng)風(fēng)機(jī)運(yùn)行消耗的能量，潔凈室運(yùn)行的功率負(fù)荷是一般空調(diào)的3-30倍。為了凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能，我們應(yīng)該從系統(tǒng)運(yùn)行過程中消耗大量能源的項(xiàng)目入手。改變車間溫濕度凈化要求;減少排風(fēng)量;適當(dāng)降低靜壓;采用低阻空氣過濾器;非工作時(shí)間，使用值班風(fēng)機(jī)運(yùn)行，系統(tǒng)中的進(jìn)、回風(fēng)機(jī)關(guān)閉。盡量減少因風(fēng)扇及電機(jī)溫升而導(dǎo)致的空氣處理所消耗的能源;為減少空調(diào)系統(tǒng)和空調(diào)的漏風(fēng)，采取相應(yīng)的有效措施和方法，達(dá)到節(jié)能運(yùn)行的目的。