低溫等離子凈化器的工作原理：

  采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時，等離子體中的高能離子起決定性的作用，流星雨狀的高能等離子與介質(zhì)發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)介質(zhì)的內(nèi)能定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫離，當(dāng)離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學(xué)鏈結(jié)合能時，分子鏈斷裂污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場的作用下被收集，在低溫等離子體中，可能由污染介質(zhì)成分決定等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染介質(zhì)濃度及共存的介質(zhì)成分。