Filmetrics-F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x-膜厚儀-半導(dǎo)體
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上海市浦東新區(qū)
F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x-膜厚儀
自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)
依靠F50先進(jìn)的光譜測(cè)量系統(tǒng),可以很簡(jiǎn)單快速地獲得大的直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),可以非常快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度,測(cè)試非??焖?,大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。F50系統(tǒng)配置高精度使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái),確保能夠做成千上萬(wàn)次測(cè)量。
系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形、方形和線性的圖形模式,也可以編輯自己需要的測(cè)試點(diǎn)。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。
可測(cè)樣品膜層
基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量??蓽y(cè)樣品包括:
選擇Filmetrics的優(yōu)勢(shì)
? 桌面式薄膜厚度測(cè)量的全球領(lǐng)導(dǎo)者
? 24小時(shí)電話,E-mail和在線支持
? 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件
附加特性
? 嵌入式在線診定方式
? 免費(fèi)離線分析軟件
? 精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效存儲(chǔ),重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果