KLA 臺階儀 P-7 探針式 表面輪廓儀

P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

產品描述

    P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的優(yōu)質的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了高性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

主要功能

·       臺階高度：幾納米至1000μm

·       微力恒力控制：0.03至50mg

·       樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

·       視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

·       圓弧校正：由于探針的弧形運動引起的誤差

·       軟件：簡單易用的軟件界面

·       生產能力：通過測序，模式識別和SECS / GEM實現全自動化

主要應用

·       臺階高度：2D和3D臺階高度

·       紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

·       形狀：2D和3D翹曲和形狀

·       應力：2D和3D薄膜應力

·       缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應用

·       大學、研究實驗室和研究所

·       半導體和化合物半導體

·       LED：發(fā)光二極管

·       太陽能

·       MEMS：微機電系統(tǒng)

·       數據存儲

·       汽車

·       設備

·       還有更多：請與我們聯系以滿足您的要求