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射頻電源的工作原理：
射頻收發(fā)核心電路射頻即Radio Frequency，通?？s寫為RF。表示可以輻射到空間的電磁頻率，頻率范圍從300KHz～30GHz之間。射頻簡稱RF射頻就是射頻電流，它是一種高頻交流變化電磁波的簡稱。每秒變化小于1000次的交流電稱為低頻電流，大于10000次的稱為高頻電流，而射頻就是這樣一種高頻電流。

射頻電源區(qū)別于其他直流電源，偏壓電源，中頻電源的優(yōu)勢：當(dāng)交流電源的頻率低于50kHz時(shí)，氣體放電的情況與直流時(shí)候的相比沒有根本的改變。當(dāng)頻率超過50kHz以后，放電過程開始出現(xiàn)變化：
1、在兩極之間不斷振蕩運(yùn)動(dòng)的電子可從高頻電場中獲得足夠的能量并使得氣體分子電離，而由電離過程產(chǎn)生的二次電子對于維持放電的重要性相對下降；
2、高頻電場可以經(jīng)由其它阻抗耦合進(jìn)入沉淀室，而不必再要求電極一定要是導(dǎo)體。也可以認(rèn)為，由于所用電源是射頻的，射頻電流可以通過絕緣體兩面間的電容而流動(dòng)。

射頻電源是可以產(chǎn)生固定頻率的正弦波電壓，頻率在射頻范圍（約3KHz～300GHz）內(nèi)、具有一定功率的電源。
射頻電源已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備；LED與太陽能光伏產(chǎn)業(yè)；科學(xué)實(shí)驗(yàn)中的等離子體發(fā)生；射頻感應(yīng)加熱；；常壓等離子體消毒清洗等。

射頻電源產(chǎn)生等離子的原理，是在一個(gè)密閉的真空壓力容器內(nèi)，利用真空泵獲得一定的真空度，射頻被饋入到真空室的兩個(gè)極板之間。在兩個(gè)極板之間產(chǎn)生一個(gè)變電場。氣體在電場上被電離，產(chǎn)生相對應(yīng)的離子。帶電離子被加速不斷的碰撞氣體分子產(chǎn)生級聯(lián)效應(yīng)。就這樣產(chǎn)生了輝光，從而產(chǎn)生了等離子體。
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