產(chǎn)品特點

l ?  氣浮導軌，超高性能精度                                      ?  重復定位精度±15nm（Sic版）

l ?  平面式氣浮結(jié)構(gòu)，減小系統(tǒng)誤差影響                  ?  直線度優(yōu)于1μm

l ?  高速，快速的整定時間                                          ?  可選光柵或激光尺位置反饋

l ?  龍門式雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力強                              ?  優(yōu)化后的線纜管理系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

QFHDS系列平面式氣浮運動臺，采用有限元分析優(yōu)化的氣浮軸承補償設(shè)計技術(shù)，提高精度的同時，也提高動態(tài)性能，用于晶圓加工及檢測、大尺寸飛秒激光加工、測試測量等行業(yè)。

結(jié)構(gòu)特點

QFHDS系列龍門平面氣浮采用瑞邦精控獨創(chuàng)技術(shù)，小孔節(jié)流和多孔氣浮相結(jié)合的方式，極大提高系統(tǒng)的剛度和穩(wěn)定性。平面式氣浮結(jié)構(gòu)，使XY軸運動結(jié)構(gòu)共面，反饋傳感器在同一個水平面，相當于單軸運動，減小因疊層引起的阿貝誤差。此結(jié)構(gòu)具有高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，開發(fā)的獨特氣浮結(jié)構(gòu)，提高了剛性和負載能力，以滿足高動態(tài)響應(yīng)的要求，可實現(xiàn)

高速運動和快速的位置整定。

精度性能

采用無鐵芯直線電機驅(qū)動，交叉解耦控制算法保證雙驅(qū)軸的運動同步，氣浮導軌實現(xiàn)無摩擦、無振動地平滑移動，重復定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.2μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec滿足超精密加工或測量，由于非接觸式結(jié)構(gòu)，伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，定位精度和重復精度得到了顯著提高。

線纜管理

使用高質(zhì)量的無塵線纜，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，更適合在潔凈車間內(nèi)使用。

定制化

根據(jù)應(yīng)用可安裝轉(zhuǎn)臺或晶圓裝卸用的夾具。氣浮導軌可定制陶瓷材質(zhì)，重復定位精度±15nm?？蛇x用激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋，提升精度性能?？商峁┍чl功能，適合高抖動要求的應(yīng)用。