探針式輪廓儀/臺階儀/Alpha-Step D-600 Stylus Profiler

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀也叫臺階儀，能夠測量從幾納米到1200微米的臺階高度測量，可選配三維測量功能。D-600型臺階儀還可以在研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度與薄膜應(yīng)力的測量，配置200mm自動移動樣品臺與先進的弧形矯正的輔助光學系統(tǒng)。 

產(chǎn)品描述

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的二維與三維測量，以及翹曲度和薄膜應(yīng)力的測量。創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大范圍測量與超微力測量于一體的功能。

探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。可調(diào)節(jié)的探針壓力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

主要功能

· 臺階高度：幾納米至1200μm

· 低觸力：0.03至15mg

· 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

· 梯形失真校正：消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真

· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

· 緊湊尺寸：占地面積小

· 軟件：用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用

· 臺階高度：2D臺階高度與3D臺階高度

· 紋理：2D粗糙度和波紋度

· 形式：2D翹曲和形狀

· 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

工業(yè)應(yīng)用

· 大學，研究實驗室和研究所

· 半導體和復(fù)合半導體

· SIMS：二次離子質(zhì)譜

· LED：發(fā)光二極管

· 太陽能

· MEMS：微電子機械系統(tǒng)

· 汽車

· 醫(yī)療設(shè)備

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