蘇州晶格電子有限公司
主營產(chǎn)品: 四探針測試儀系列, 粉末電阻率測試儀系列, 超高阻微電流測試儀系, 土壤電阻率測試儀, PN導(dǎo)電類型鑒定儀, 毫歐計微歐計
蘇州晶格-ST2263雙電測-四探針儀-電阻率儀
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主營產(chǎn)品
四探針測試儀系列, 粉末電阻率測試儀系列, 超高阻微電流測試儀系, 土壤電阻率測試儀, PN導(dǎo)電類型鑒定儀, 毫歐計微歐計
ST2263型雙電測四探針電阻率/方塊電阻測試儀(帶PC軟件)簡介
一、結(jié)構(gòu)特征
二、概述
2.1基本功能和依據(jù)標(biāo)準(zhǔn):
ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進(jìn)形范德堡測量方法測試材料電阻率/方塊電阻的智能化綜合測量儀器。
該儀器設(shè)計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》等并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,
大大提高正確度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
2.2儀器成套組成:由ST2253四探針主機、選配的四探針探頭、四探針測試臺以及ST2253型四探針測試軟件等部分組成。
2.3優(yōu)勢特征:
1:雙電測模式,四探針測試模式中精度高等級。
2:帶電腦軟件,可以保存、查詢、統(tǒng)計分析數(shù)據(jù)和打印報告。
3:USB通訊接口,通用性好、方便快捷。優(yōu)于RS232或485方式,這些端口一般電腦都難配了!
4:8檔位超寬量程。同行一般為五到六檔位。
5:可脫電腦單機操作,小型化、手動/自動一體化。
6:操作簡便、性能穩(wěn)定,所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)碼開關(guān)輸入,簡便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定。
2.4探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。詳情見《四探針探頭型號規(guī)格特征選型參照表》
1配高耐磨的碳化鎢探針探頭,以測試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;
2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭,可測金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜,也可測陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導(dǎo)電涂層膜,如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。
3配專用箔上涂層探頭,也可測試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。
4換上四端子測試夾具,還可對電阻器的體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。
2.5測試臺選配:根據(jù)不同材料特性需要,測試臺可有多款選配。詳情見《四探針測試臺型號規(guī)格特征選型參照表》
四探針法測試固體或薄膜材料選配SZT-A型或SZT-B型(電動)或SZT-C型(快速恒壓)或SZT-F型(太陽能電池片)測試臺。
二探針法測試細(xì)長棒類材料選配SZT-K型測試臺.
平行四刀法測試橡塑材料選配SZT-G型測試臺。
2.6適用范圍:儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校四探針法對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
三、基本技術(shù)參數(shù)
3.1 測量范圍
電 阻:1×10-4~2×105Ω ,分辨率:1×10-5~1×102Ω
電阻率:1×10-4~2×105Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102Ω-cm
方 阻:5×10-4~1×106Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102Ω/□
3.2 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式?jīng)Q定)
直 徑:SZT-B/C/F測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.
長(高)度:測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
3.3量程劃分及誤差等級
滿度顯示 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 |
測試電流 | 0.1μA | 1.0μA | 10μA | 100μA | 1.0mA | 10mA | 100mA | 1.0A |
常規(guī)量程 | kΩ-cm/□ | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | ||||
基本誤差 | ±2%FSB ±4LSB | ±1.5%FSB ±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±1.0%FSB ±4LSB |
3.4四探針探頭(選配其一或加配全部)
(1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調(diào)
(2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調(diào)
3.5.電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W
3.6.外形尺寸、重量:
主 機: 220mm(長)×245 mm(寬)×100mm(高), 凈 重:≤2.5kg
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