ST2253型數(shù)字式四探針測試儀簡介

一、結(jié)構(gòu)特征 

二、、、概述

    ST2253型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途半導(dǎo)體參數(shù)綜合測量裝置，是一款帶PC機(jī)電腦軟件的智能化數(shù)字化四探針測試儀！也稱電阻率測試儀|方塊電阻測量儀|體積電阻率測試儀，它可以測量單晶體|多晶體|納米涂層|高分子材料|導(dǎo)電塑料|導(dǎo)電橡膠|ITO膜|導(dǎo)電薄膜等金屬導(dǎo)體|非金屬半導(dǎo)體材料的電阻率|方塊電阻|方阻，也可測量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻|方阻|表面電阻）。測試規(guī)范符合國家標(biāo)準(zhǔn)和美國試驗(yàn)與材料協(xié)會(huì)ASTM標(biāo)準(zhǔn)，利用四端子測試原理，換上特制的四端子測試夾具，還可以對(duì)金屬導(dǎo)體、開關(guān)觸點(diǎn)的低、中值接觸電阻進(jìn)行測量。

     儀器由四探針主機(jī)|四探針測試探頭|四探針測試臺(tái)(可選電動(dòng)四探針測試臺(tái))等部分組成，測試結(jié)果由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示。主機(jī)也可連接PC機(jī)由配套四探針測試軟件在PC機(jī)上操作，其數(shù)據(jù)可由軟件顯示、分析、保存和打?。?/p>

主機(jī)主要由精密恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成，自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程。測試探頭采用高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。

     儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合。

三、基本技術(shù)參數(shù)

3.1測量范圍

電阻率：    10^-4～10⁵Ω-cm

方塊電阻：  10^-3～10⁶Ω/□

    電   阻：10^-4～10⁵Ω

3.2可測半導(dǎo)體材料尺寸

直  徑：  Φ15～100mm, 長（或高）度：  ≤400mm

2.3測量方位:

軸向、徑向均可

2.4.  4 1/2位數(shù)字電壓表：

⑴量程： 200mV

⑵誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字

2.5數(shù)控恒流源

⑴電流輸出：直流電流 0～100mA 連續(xù)可調(diào)，由交流電源供電。

⑵量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA

⑶誤差：±0.5%讀數(shù)±2 字

2.6四探針測試探頭

  ⑴探針間距 1mm

(2)探針壓力: 0～2kg 可調(diào),最大壓力約 2kg

(3)探針：碳化鎢，Φ0.5mm

2.7.電源

輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<20W

2.8.外形尺寸：

主機(jī)  260mm（長）×210 mm（寬）×125mm（高）

四、詳情請(qǐng)登陸蘇州晶格電子有限公司官方網(wǎng)站查看《ST2253型數(shù)字式四探針測試儀技術(shù)使用說明書》

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