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一、結(jié)構(gòu)特征

 M3手持式四探針測試儀主機(jī)                                 配ST2253-F01鎢針探頭測試硅片                  配ST2558B-F01薄膜探頭測試ITO膜

 

二、概述

2.1基本功能和依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)：

  M3手持式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理測試材料電阻率/方塊電阻的多用途、高性價(jià)比測量儀器。

該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》等國標(biāo)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

    2.2配套組成：標(biāo)準(zhǔn)配置由M-3型主機(jī)、選配的四探針探頭等二部分組成，也可加配測試臺(tái)當(dāng)臺(tái)式機(jī)使用。

2.3優(yōu)勢特征：

1美觀適用：彩色流線型手持式面板、帶防滑墊，符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)。適合手持式變動(dòng)場合操作使用，也可以定制小型旅行手提箱包裝，便于野外或旅行使用。

2高精度：帶完善厚度、形狀修正功能，測試精準(zhǔn)。同行中手持式多為簡易程序，沒有完整修正功能，無法修正誤差。

3寬量程：超寬五個(gè)檔位，相當(dāng)于中檔臺(tái)式機(jī)的量程，同行中手持式多為兩到三個(gè)檔位，測試范圍有限，適應(yīng)性不廣。

4操作簡便、性能穩(wěn)定：輕觸數(shù)字化鍵盤實(shí)現(xiàn)參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換，簡便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定易受干擾。

5手動(dòng)/自動(dòng)一體化：

6顯示方式美觀清晰：由高亮綠色數(shù)碼和ＬＥＤ數(shù)字表頭顯示，不怕環(huán)境背景暗或野外強(qiáng)光；

7待機(jī)和工作時(shí)間長（不小于兩天），有大容量可充電鋰電池電池供電，環(huán)保耐用。

2.4探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。詳情見《四探針探頭型號(hào)規(guī)格特征選型參照表》

1配高耐磨的碳化鎢探針探頭，如ST2253-F01型，以測試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；

2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭，如ST2558B-F01型，可測金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜，也可測陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導(dǎo)電涂層膜，如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。

3配專用箔上涂層探頭，如ST2558B-F02型，也可測試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。

4換上四端子測試夾具，還可對(duì)電阻器的體電阻進(jìn)行測量。

2.5測試臺(tái)選配：根據(jù)不同材料特性需要，測試臺(tái)可有多款選配。詳情見《四探針測試臺(tái)型號(hào)規(guī)格特征選型參照表》

四探針法測試固體或薄膜材料選配SZT-A型或SZT-B型（電動(dòng)）或SZT-C型（快速恒壓）測試臺(tái)。

二探針法測試細(xì)長棒類材料選配SZT-K型測試臺(tái).

平行四刀法測試橡塑材料選配SZT-G型測試臺(tái)。

2.6適用范圍：手持式使用，儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校四探針法對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。 

。

三、基本技術(shù)參數(shù)

1.測量范圍、分辨率

電    阻：     0.010Ω～ 50.00kΩ,     分辨率0.001Ω～ 10 Ω

電 阻 率：     0.010Ω-cm～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω～ 10 Ω-cm

方塊電阻：     0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□   分辨率0.001Ω～ 10 Ω/□

2.可測材料尺寸

手持方式不限材料尺寸，但加配測試臺(tái)則由選配測試臺(tái)決定如下：

直    徑：SZT-A圓測試臺(tái)直接測試方式 Φ15～130mm。

SZT-C方測試臺(tái)直接測試方式180mm×180mm。

長(高)度：測試臺(tái)直接測試方式 H≤100mm。.

測量方位: 軸向、徑向均可.

 

3.量程劃分及誤差等級(jí)（括號(hào)內(nèi)為拓展量程）

量程（Ω-cm/□）	2.000 （200.0ｍ）	20.00 （2.000ｍ）	200.0 （20.00）	2.000k （200.0）	20.00k （2.000k）
電阻測試范圍	0.010～2.200	2.000～22.00	20.00～220.0	0.200～2.200k	2.000～50.00k
電阻率/方阻	0.010/0.050～2.200	2.000～22.00	20.00～220.0	0.200～2.200k	2.000～20.00k/100.0k
基本誤差	±1%FSB±2LSB			±2%FSB±2LSB

4)充電器工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,P_W≤5W，或電池供電DC3.7V.

5)外形尺寸：W×H×L=10cm×3.6cm×21cm

凈   重：≤0.3kg

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查看《M-3手持式四探針測試儀技術(shù)使用說明書》

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